投标邀请

i-line光刻机项目已具备招标条件。招标项目资金已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：i-line光刻机

1.2 招标编号：0779-25400341A052

1.3 项目概况：

i-line光刻机用于量子传感、硅光等芯片微结构制造过程中的对准曝光工艺。利用光化学反应原理把事先制备在掩模版上的图形转印到晶圆表面涂覆的光刻胶上，再使用选择性的刻蚀再转印到衬底（晶圆）上，并最终形成传感芯片所需的三维结构。i-line光刻机由i-line光刻机、光刻机隔震台组件等组成。更多指标详见第八章技术规格。

主要技术指标：

适用于6英寸和8英寸晶圆；

设备传片方式：机械手全自动传片；

最小分辨率≤1um；

支持全自动对准，且具备正面/背面和红外对准功能；

对准精度:正对准≤0.5um；背对准≤1um；红外对准精度≤1.5um；

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订生效后10个月内交货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。

3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

4.
未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在 招标会员 区根据招标公告的相应说明获取招标文件！
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来源：中国电力招标采购网
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术及商务信息服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，
招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准。
编辑：ebid.eavic