序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 蒸镀冷却器 | 1 line(共26台) | 1)本设备为匹配G6 OLED 蒸镀机的温控设备。技术方案需满足多通道分开控温的要求,投标文件需提供技术方案; 2)冷却液通过管道输送到蒸镀机台,管道满足蒸镀机连接要求; 3)subfab到二楼高度8.7m,冷却液输送到蒸镀机台满足蒸镀机需要的压力、流量要求。 | 0730-254010020003-79 |
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