序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 干刻废气处理机 | 15台 | (1)废气处理设备主要用于处理干刻制程中产生的有害气体。 (2)设备构成:本设备主要由一个燃烧室、一个或一个以上水洗室、一个水槽等构成 (3)除灰化制程外每个工艺腔室对应一台废气处理设备,灰化制程2个工艺腔对应1台废气处理设备 | 0730-254010020003-80 |
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