序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244ZLCP10001/69 | 干式清洗装置 | 6套 | 设备用途及基本要求: 干式清洗装置是利用空气对基板表面进行非接触式的清洁的装置。使用风机吹出洁净空气,通过设置在传送带或平台上的Clean Head进行喷气和吸气,达到对基板表面的非接触式清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/75 | 映射传感器 | 310套 | 设备用途及基本要求: 映射传感器主要用于检测卡匣内玻璃基板位置分布的光电传感器。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
4197-244ZLCP10001/76 | 除静电器 | 1631台 | 设备用途及基本要求: 除静电器主要功能用于基板表面静电的处理;静电监视器主要功能用于玻璃基板表面静电带电量检测。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
4197-244ZLCP10001/77 | 超高压微射流清洗装置 | 29台 | 设备用途及基本要求: 本装置安装于基板投入清洗、成膜前清洗、阵列光刻胶剥离、阵列有机膜剥离(作为成膜前清洗使用时)、彩膜清洗、彩膜显影、成盒绝缘膜清洗等湿法设备内,用于增强设备的清洗能力。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
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