1. 招标条件
本招标项目氮化硅/硅光波导刻蚀机 该项目已具备招标条件，现对氮化硅/硅光波导刻蚀机采购进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20260341A008
2.2 招标项目名称：氮化硅/硅光波导刻蚀机
2.3 数量：壹套
2.4 设备用途及系统组成：
设备用途：该设备利用高频电磁场通过感应耦合方式产生高密度等离子体，实现高精度、高选择性和高深宽比的介质薄膜刻蚀（例如氧化硅、氮化硅、硅等）。
系统组成：氮化硅/硅光波导刻蚀机主要由工艺腔室、等离子体系统、真空系统、气路系统、传输系统及控制系统等组成。
2.5 交货
2.6 交货期：合同签订后5个月内到货。
3.投标人资格要求：
3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 本次招标不接受联合体投标。
3.3 本次招标接受代理商投标，一个制造商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。提供制造商的唯一授权书原件。(本设备指“氮化硅/硅光波导刻蚀机”)
3.4 财务要求：投标人应附2024年经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，包括审计报告正文、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务报表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供经审计的或单位内审的2024年财务报表。
3.5 业绩要求：投标人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型号的销售量≥3套，提供设备销售业绩证明（提供有效合同首页，技术协议及验收报告等证明材料，证明材料需有双方盖章）。
3.6 信誉要求：投标人在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或各级信用信息共享平台的查询结果）或信誉承诺书。
3.7 投标人必须向招标代理机构
