序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 冷却器 | 18台 | (1)冷却器主要用于G6干刻工艺腔体的温度控制。 (2)设备类型:冷媒式+热交换式 (3)设备构成:三通道温度控制12台,四通道温度控制6台 | 0730-254010020003-81 |
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