黄河上游水电开发 太阳能电池及组件研发实验室钙钛
矿/晶硅叠层电池技术升级改造项目ALD设备采购项目【重新招标】
招标公告
黄河水电物资 受招标人委托，对下述标段进行公开招标。
1．招标条件
招标项目名称：黄河上游水电开发 太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿/晶硅叠层电池技术升级改造项目ALD设备采购项目[重新招标]
招标项目编号：DNYZC-2026-05-12-053-01
项目业主（或买方）：黄河上游水电开发
立项情况：已立项
项目资金来源：资金由黄河上游水电开发 负责，现已落实到位。
项目已具备招标条件，现进行公开招标。
2．项目概况与招标范围
2.1项目概况
黄河公司太阳能电池及组件研发实验室主要进行高效太阳能晶硅电池制备技术开发以及高效率硅基钙钛矿叠层电池片技术开发和样品制备。目前实验室聚焦于产业化大面积钙钛矿/晶硅叠层电池技术研究和结构设计、器件制备，其中钙钛矿电池阻挡层主要采用热原子沉积的方式完成制备，因此本次需采购热原子沉积ALD系统设备，完成功能层的制备。本项目主要工作范围是采购1台ALD设备，实现纳米薄膜功能层的制备。
2.2招标范围
（1）采购1台ALD设备，包含随机文件、技术资料(包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手册)，负责设计、制造、试验(包括工厂试验、出厂试验、交接试验)、供货、包装、运输、现场卸货安装、调试及试运行，并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。
（2）构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内容之内。
2.3主要配置及技术参数：
| 序号 | 项目 | 技术要求 | 备注 |
| 1 | 设备功能、样品尺寸及夹具要求 | 主要用于钙钛矿太阳电池中纳米及致密金属氧化物薄膜层（SnO2/Al2O3等）的精细制备；可支持沉积样品边长400mm*40mm或优于，同时尺寸可向下兼容；配备一套适用硅片的夹具（可放置4片166mm*166mmm硅片/合同签订时商定尺寸），用于叠层电池制备中晶硅基底放置。 | |
| 2 | 镀膜绕镀范围 | 边缘绕镀尺寸控制在5mm以内 | |
| 3 | 样品台加热温度范围及材质 | 样品台加热温度区间为20℃至不低于200℃，温度可调，温度控制精度±1℃，温度均匀性控制在±3%以内；室温升温至100℃以下15分钟以内可以保持温度稳定；室温升温至100℃以上20分钟以内可以保持温度稳定，加热台材质为不锈钢。 | |
| 4 | 前驱体源数量及配置 | 3路金属前驱体源（氧化锡、氧化铝及1路备用热金属源系统）、1路常温水源，源及源瓶配置齐全（要求随机携带设备调试验收期间所需的金属源及源瓶，备用的1路热金属源要求配齐管路及源瓶，类型和规格与氧化锡的源瓶和管路保持一致），同时额外配置留有管路升级空间，管路加热控温精度为±1℃。 | |
| 5 | 源载气管路 | 含3路载气系统，流量计控制，控制精度为±1%以内；所有前驱体源管路采用EP及316L不锈钢管路+VCR密封，并具有在线清洗功能。 | |
| 6 | 饱和脉冲时间 | 要求前驱体源的饱和脉冲时间控制在50ms-2s | |
| 7 | 真空系统 | 整机极限真空＜1Pa，真空漏率＜5E-6Pa•L/S，配置为干泵，额定抽速≥80m³/h（满足或者优于以上要求）。 | |
| 8 | 真空测量 | 精度±0.5%，响应时间＜20ms | |
| 9 | 薄膜均匀性 | 薄膜均匀性：在400mm×400mm尺寸的方形样品台表面内平均放置9片晶圆，沉积50nm氧化锡，薄膜的片内不均匀度≤3%（以上、下、左、右、中心9点为测量基准，进行膜厚测试），计算方式为：Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，单点膜厚最大值、最小值分别记为Umax、Umin；片间薄膜不均匀度≤3%，计算方式为：Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，单片膜厚平均值中的最大值和最小值分别记为Uavgmax、Uavgmin。 | |
| 10 | 薄膜折射率 | 在400mm×400mm范围的基底（玻璃或者单抛硅片）表面生长50nm薄膜，以椭偏仪测量13点折射率，单片片内折射率平均值记为n，5次n的平均值记为N，SnO2的折射率n≥1.80且N-0.02≤n≤N+0.02为合格。Al2O3的折射率n≥1.58，且N-0.02≤n≤N+0.02为合格。 | |
| 11 | 废气排放 | 要求尾气可以直接接入一般热排，若设备需要配备尾气处理系统，则需要投标方提供 | |
| 12 | 工艺参数 | 沉积20nm氧化锡薄膜，从放片抽真空到取片总时间≤70min | |
| 13 | 技术服务 | 投标人提供SnO2的制备工艺作为钙钛矿反式器件的阻挡层，保证招标方在其他薄膜层制备条件不变时采用该工艺制备的SnO2在取代BCP阻挡层后钙钛矿器件的性能不降低。 |
注：其它未列入本表的参数应能满足设备安全运行性能，并符合行业标配参数及国家标准。
2.3交货期/工期
合同签订生效后3个月内整批交货（包含备件及工具）（详见第二卷第五章供货要求）3．投标人资格要求。
3.1投标人基本资格要求
（1）投标人具有独立订立合同的资格。
（2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站 网站查询为准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻结、破产状态。
（3）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合同被解除的情形。
（4）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标。
（5）投标人没有处于 相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入 供应商涉案“黑名单”。
3.2专用资格条件
（1）投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人的光伏设备制造企业或相关设备代理企业。
（2）投标人应具有近5年（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少2台及以上ALD设备供货合同业绩。其中至少有1台（该设备为与Inforlink数据库2023或2024年晶硅电池和组件出货量供货排名前十的晶硅企业的供货业绩）与投标设备为同一类型；且至少有1台设备的有效加工幅面不小于0.72平方米。【需提供合同复印件（包括合同首页、供货范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）、发票复印件】。
（3）代理企业须提供所代理设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号）只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商的货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则相关投标均做无效处理。
（4）本项目授权委托代理人须为投标方在册人员并提供近三个月国家社保机构出具的社保缴费证明。
（5）不接受联合体投标。
4．招标
没有在 中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后根据招标公告的相应说明获取招标文件！
联系人：李杨
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